高純電子氣體
氣體
分子式
純度(%)
氧氣
O2
99.99%
一氧化碳
CO
2N~4N
氮氣
N2
5N~6N
二氧化碳
CO2
2N~5N
氬氣
Ar
一氧化氮
NO
氫氣
H2
氧化亞氮
N2O
氦氣
He
氯氣
Cl2
氖氣
Ne
二氧化硫
SO2
氪氣
Kr
乙炔
C2H2
氙氣
Xe
甲烷
CH4
3N~5N
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