定義:國內可自行生產之高純度(含)以下純度之氣體皆屬之｡(內容包含普遍純度之O2﹨N2﹨H2﹨C2H2﹨CH4)高純度之N2﹨N﹨H2﹨W2等氣體

大氣系 O2﹨N2﹨Ar﹨H2﹨CO2﹨CO﹨零級AIR
腐蝕系 NH3﹨HCL﹨H2S﹨SO2
氧氮系 NO﹨NO2﹨N2O
鈍氣系 He﹨Ne﹨Kr﹨Xe
有機系 CH4﹨C2H2﹨C2H4﹨C2H6﹨C3H6﹨C3H8﹨C4H8﹨C4H10